SEMATECH et centrotherm collaborent au développement de procédés à basse température pour les futures générations de dispositifs à semi-conducteurs (logique et mémoire) dans l'industrie des semi-conducteurs
10.04.2012 avril 100 - Blaubeuren (euro adhoc) - centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG, une filiale à XNUMX% de centrotherm photovoltaics AG, qui développe des systèmes de production de haute technologie et des technologies de processus associées pour l'industrie des semi-conducteurs, fait partie du programme Front End Process (FEP) rejoint par SEMATECH. L'objectif est de développer conjointement des procédés à basse température à l'aide du système d'oxydation par plasma à basse température nouvellement développé par centrotherm pour les futurs composants logiques et mémoire hautes performances.
La miniaturisation continue à l'échelle nanométrique nécessite de nouveaux matériaux et de nouveaux concepts d'appareils qui nécessitent une réduction du budget thermique dans le flux de processus. Par exemple, pour introduire des transistors à forte mobilité de porteurs dans la zone du canal, des processus à basse température sont nécessaires de manière urgente. Ainsi, les propriétés avantageuses des matériaux de canal sont obtenues.
De la même manière, les technologies de stockage avancées nécessitent des couches d'isolation électrique de haute qualité. Ces couches d'oxyde sont cultivées à des températures extrêmement basses - par exemple pour les composants de mémoire RRAM (Resistive Random Access Memory) qui contiennent des oxydes métalliques. Grâce à sa technologie de processus, le système d'oxydation plasma à basse température nouvellement développé par centrotherm offre une très bonne opportunité d'intégrer de nouveaux matériaux dans les futures technologies de composants grâce à des températures de processus extrêmement basses.
En tant que membre de ce programme, centrotherm travaillera en étroite collaboration avec les experts de l’équipe de recherche FEP de SEMATECH pour utiliser SEMATECH afin d’optimiser les structures de test pour les processus à basse température utilisant le plasma. L'objectif est de démontrer l'applicabilité des processus à basse température pour les dispositifs de logique et de mémoire dont la taille des fonctionnalités est inférieure à 14 nm (nanomètres).
«SEMATECH fournit à centrotherm une excellente plate-forme de test pour caractériser les processus actuels et développer de nouvelles applications pour notre système», déclare Peter Augustin, PDG de centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG. «Cette coopération est une opportunité importante pour centrotherm de démontrer les performances technologiques de notre dernier système d'oxydation plasma à basse température à nos clients et fait partie de notre programme ct focus visant à étendre davantage le domaine des semi-conducteurs et de la microélectronique.
"SEMATECH est heureux d'accueillir centrotherm en tant que partenaire", a déclaré Raj Jammy, vice-président des technologies émergentes chez SEMATECH.
«Le savoir-faire unique de Centrotherm en matière de solutions thermiques complète notre expertise en matière de composants et de processus. Nous travaillons ensemble pour développer de nouvelles solutions de fabrication applicables et prometteuses pour répondre aux demandes du marché pour les futurs transistors et mémoires. "
Le programme FEP de SEMATECH vise à fournir de nouveaux matériaux, technologies de processus, modules d'appareil et méthodes de caractérisation électrique et physique afin de permettre la miniaturisation continue des applications de logique et de mémoire.
À propos de centrotherm centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG, une filiale 100 de centrotherm photovoltaics AG, développe et fabrique des équipements de production de haute technologie pour la production d’une vaste gamme de dispositifs à semi-conducteurs. Outre les processus et la technologie, nos principales compétences incluent la conception et la conception de nos produits. Ils sont utilisés pour un grand nombre de processus activés thermiquement dans diverses technologies et applications (par exemple, semi-conducteurs de puissance, LED, micromécanique, MEMS, technologie des capteurs). Centrotherm photovoltaics AG, dont le siège est situé à Blaubeuren, est le premier fournisseur mondial de technologies et d'équipements pour l'industrie photovoltaïque. La société équipe des entreprises solaires renommées et des nouveaux venus dans l'industrie avec des projets clé en main
Lignes de production («clé en main») et systèmes individuels pour la fabrication de silicium, de cellules et modules solaires cristallins ainsi que de modules à couches minces. Le groupe dispose ainsi d'une base technologique large et bien fondée ainsi que d'équipements clés à presque toutes les étapes de la chaîne de valeur photovoltaïque. Le photovoltaïque Centrotherm garantit à ses clients des paramètres de performance importants tels que la capacité de production, l'efficacité et la date d'achèvement. Au 31 décembre 2011, le groupe employait environ 1.900 2011 personnes et est actif dans le monde entier en Europe, en Asie et aux États-Unis. Le photovoltaïque Centrotherm a réalisé un chiffre d'affaires d'environ 700 millions d'euros au cours de l'exercice XNUMX. La société est cotée au TecDAX à la Bourse de Francfort. Plus d'informations sur centrotherm sur www.centrotherm.de.
À propos de SEMATECH® SEMATECH®, consortium international regroupant des fabricants de premier plan de semi-conducteurs, d'équipements de fabrication et de matériaux, célèbre cette année les performances exceptionnelles de 25 dans l'accélération de la commercialisation d'innovations technologiques dans les solutions de production. Avec son engagement indéfectible à renforcer la collaboration dans l'industrie de la nanoélectronique, SEMATECH aide ses partenaires à accompagner les mutations industrielles, à dégager un consensus technique, à traduire la recherche en industrie, à augmenter la productivité de la fabrication et à minimiser les risques liés aux coûts et au temps. Plus d'informations sur SEMATECH peuvent être trouvées sur www.sematech.org.
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